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激光注入氮气
发表时间: 2019-11-19 10:19:27浏览: 61
[文本]关闭激光器后,其内部气压总是趋于升高到大气压。为了防止灰尘和湿气进入激光气体系统,必须将N2气体注入激光,它也是一种激光工作气体。注入N2气体的步骤如下:按下S1时,K1关闭,并且电磁阀Y11打开,使N2气体通过它进入激光。当腔室内的气体压力值达到返回压力的设定值时,将K1断开,以使电磁阀Y4打开,从而通过超压阀在激光环境中不会出现过大的压力。上述充电过程需要通过开关电源U8提供24VDC电源,因此在此期间必须关闭主电源开关S01,并且必须打开N2气瓶上的减压阀。
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